2023年*二届*三代半导体材料技术与市场研讨会由半导体在线主办,本届会议于2023年3月30-31日在中国-苏州合景万怡酒店召开。
*二届*三代半导体材料技术与市场研讨会提供协同创新的高质量交流平台,推动国内三代半导体材料的学术研究、技术进步和产业发展,展示业内精英企业,凝聚行业发展共识。
在此次会议,鹏城半导体技术(深圳)有限公司(简称:鹏城半导体)将带来纳米技术及高端制造设备跟大家见面,其中包括多功能磁控溅射解决方案、热丝CVD金刚石制备设备、分子束外延系统MBE、等离体增强型化学气相沉积PECVD、高真空电子束蒸镀仪等。
多功能磁控溅射是用磁控溅射的方法,制备金属、合金、化合物、半导体、陶瓷、介质复合膜及其它化学反应膜等;适用于镀制各种单层膜、多层膜、掺杂膜系及合金膜;可镀制磁性材料和非磁性材料。
热丝CVD金刚石制备设备研发设计制造了热丝CVD金刚石设备,分为实验型设备和生产型设备两类。
设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜、硬质合金基金刚石涂层、陶瓷轴承内孔镀金刚石薄膜等。
可以制造大尺寸金刚石多晶晶圆片,用于大功率器件、高频器件及大功率激光器的散热热沉;可用于生产制造防腐耐磨硬质涂层;环保领域污水处理用的耐腐蚀金刚石导电电极等。
可用于平面工件的金刚石薄膜制备,也可用于表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。
分子束外延系统MBE可以在某些衬底上实现外延生长工艺,实现分子自组装、**晶格、**阱、一维纳米线等。可以进行*二代半导体和*三代半导体的工艺验证和外延片的生长制造。
分子束外延系统MBE在薄膜外延生长时具有**高的真空环境,是在理想的环境下进行薄膜外延生长,它可以排除在薄膜生长时的各种干扰因素,得到理想的高精度薄膜。
我公司设计制造的分子束外延薄膜生长实验设备,分实验型和生产型两种 ,配置合理,结构简单,操作方便,技术先进,性能可靠,用途多,实用性强,性价格比高,可供各大学的实验室及科研机构作为分子束外延方面的教学实验、科学研究及工艺实验之用。生产型MBE可用于小批量外延片的制备。
等离体增强型化学气相沉积PECVD主要用于在洁净真空环境下进行氮化硅和氧化硅的薄膜生长;采用单频或双频等离子增强型化学气相沉积技术,是沉积高质量的氮化硅、氧化硅等薄膜的理想工艺设备。
高真空电子束蒸镀仪是在高真空条件下,采用电子束轰击材料加热蒸发的方法,在衬底上镀制各种金属、氧化物、导电薄膜、光学薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬膜等;可镀制混合物单层膜、多层膜或掺杂膜;可镀各种高熔点材料。
可用于生产、科学实验及教学,可根据用户要求专门订制。
可根据用户使用要求,选配石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式, 通过PLC 和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制, 包括真空系统、烘烤系统、蒸发过程和膜层厚度的监控功能等,从而提高了工作效率和保证产品质量的一致性和稳定性。
鹏城半导体核心业务是微纳技术与高端精密制造,具体应用领域包括半导体材料、半导体工艺和半导体装备的研发设计和生产制造。在本届会议中所呈现的方案及设备,将有工作人员给您详细讲解,希望可以在线下和大家产生更多的技术交流及思想碰撞。
3月30日-31日,欢迎大家到会议现场打卡体验
期待与您相遇!
我们不见不散~
关于鹏城半导体
鹏城半导体技术(深圳)有限公(简称:鹏城半导体),由哈尔滨工业大学(深圳)与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术*与市场*的交叉点,寻求创新**与可持续发展,解决产业的痛点和国产化难题,争取产业链的自主可控。
公司核心业务是微纳技术与高端精密制造,具体应用领域包括半导体材料、半导体工艺和半导体装备的研发设计和生产制造。
公司人才团队知识结构完整,有以哈工大教授和博士为核心的高水平材料研究和工艺研究团队;还有来自工业界的高级装备设计师团队,他们具有20多年的半导体材料研究、外延技术研究和半导体薄膜制备成套装备设计、生产制造的经验。
公司依托于哈尔滨工业大学(深圳),具备先进的半导体研发设备平台和检测设备平台,可以在高起点开展科研工作。公司总部位于深圳市,具备半导体装备的研发、生产、调试以及半导体材料与器件的中试、生产、销售的能力。