鹏城半导体 LPCVD设备 HITSemi-LPCVD-200

LPCVD设备配置一套独立工艺炉管，工艺气体分别配置SiH₄/NH₃/N₂O/N₂/Ar，通过真空泵获得低压来实现氮化硅、氧化硅、多晶硅膜层的沉积。
设备主要应用于科研院校、高校、工矿企业等实验和小批量生产。

主要特点
炉膛具有良好的温度均匀性、保证工艺温区。
控温精度高、保温效果好、温度范围大。
工艺气路采用VCR连接，密封性好。
具有正负压显示，炉膛**压保护、**温保护，水流水压水温保护，断偶保护。

技术参数

产品型号	HITSemi-LPCVD-200
较高温度	1150°C
工作温度	≤1100°C
管数	1~2管（可定制）
炉管	进口石英；φ100mm~φ200mm，长度：1200mm（可定制）
恒温区长度	400mm
控温段数	3段；可以三段单独控制
升温速率	1°C/min~10°C/min可调
恒温区控温精度	±1°C
测温精度	±1%FS
温控保护	具有过温保护，断偶保护，漏电保护（加漏电保护器）等功能
工件压强范围	13Pa~1330Pa
膜层不均匀性	优于≤±5%
控温模式	控温模式：采用30段程序控温智能PID调节，微电脑控制，可编程式控温曲线，*看守（全自动升、降、保温）
工艺气体	SiH4 、NH3 、N2O、N2
控制形式	半自动/全自动
控制系统	PLC+触摸屏
恒温制冷水箱	可选配
空气压缩机	可选配
注：不含尾气处理系统

设备工作条件

供电	三相五线制，AC 380V，50Hz
功率	约20KW
冷却水	≤150L/min
气动部件供气压力	0.5MPa～0.7MPa
质量流量控制器供气压力	0.05MPa～0.2MPa
工作环境温度	10℃～40℃
工作环境湿度	≤50%

关于我们

鹏城半导体技术（深圳）有限公司，由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术*、市场*和产业*的交叉点，寻求创新yin*ling与可持续发展，解决产业的痛点和国产化难题，争取产业链的自主可控。

鹏城微纳技术（沈阳）有限公司是鹏城半导体技术（深圳）有限公司全资子公司，是半导体和泛半导体工艺和装备的设计中心和生产制造基地。

公司核心业务是微纳技术与gao*duan精密制造，具体应用领域包括半导体和泛半导体材料、工艺、装备的研发设计、生产制造、工艺技术服务及装备的升级改造，可为用户提供工艺研发和打样，可为生产企业提供生产型设备，可为科学研究提供科研设备。

公司人才团队知识结构完整，有工程师哈工大教授和博士，为核心的高水平材料研究和工艺研究团队，还有来自工业界的高级装备设计师团队，他们具有30多年的半导体材料研究、外延技术研究和半导体薄膜制备成套装备设计、生产制造的经验。

公司依托于哈尔滨工业大学（深圳），具备先进的半导体研发设备平台和检测设备平台，可以在高起点开展科研工作。公司总部位于深圳市，具备半导体和泛半导体装备的研发、生产、调试以及器件的中试、生产、销售的能力。

公司团队技术储备及创新能力

1998~2002

-设计了中试型的全自动化监控的MOCVD，用于外延硅基GaN

-设计制造了聚氨酯薄膜的卷绕式镀膜机

2005

-设计制造了中国di*yi台完全自主知识产权的MBE(分子束外延设备)，用于外延光电半导体材料

2007

-设计**高温CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生长

-设计制造了光学级金刚石生长设备（采用热激发技术和CVD技术）

2015

-设计制造了金刚石涂层制备设备，制备了金刚石电极、微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜

2017

-优化Rheed设计，开始生产型MBE设计

-开始研发PSD方法外延GaN的工艺和装备

2019

-设计制造了大型热丝CVD金刚石薄膜的生产设备

2021

-鹏城半导体技术（深圳）有限公司成立

2022

-子公司鹏城微纳成立；

-热丝CVD设备、高真空磁控溅射仪、电子束蒸镀机、分子束外延与磁控溅射联用设备多套出货

-获得ISO9001质量管理体系证书

2023

-PSD方法外延GaN装备与工艺的技术攻关；

-科技型中小企业-入库编号202344030500018573；

-创新型中小企业；

-获50+项知识产权专利；

-企业信用评价AAA级信用企业；/ISO三体系认证；

-子公司晶源半导体成立

2024~2026

-与jun*gong和shang*shi*tou*bu*qi*ye*客户合作取得突破（X *guang*gan*shou板及光电器件的薄膜生长）

-鹏城微纳技术（沈阳）有限公司子公司扩产

-TGV/TSV/TMV

-wei*guang*tan*测、yi*liao*ying*xiang、fu*he*ying*zhi*tu*层

-gao*xin*ji*shu企业

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